| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4inch | ノンドープ | 111 | 300±20 | ≧10000 | 32.5±2.5 |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4inch | ノンドープ | 100 | 800±20 | ≧5000 | 32.5±2.5 | 両面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4inch | ノンドープ | 100 | 200±20 | ≧1000 | 32.5±2.5 | 両面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4inch | ノンドープ | 100 | 300±20 | ≧1000 | 32.5±2.5 | 両面MP |