| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4inch | P | 100 | 525±20 | 1-10 | 2個(1st 2nd有） | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4inch | P | 100 | 680±20 | 1-50 | 32.5±2.5 | 両面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4inch | P | 100 | 525±20 | ≧90 | 32.5±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4inch | P | 111 | 525±20 | 50-100 | 32.5±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4inch | P | 111 | 320±20 | 0.03-0.05 | 32.5±2.5 | 片面MP |