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3inch
4inch
5inch
6inch
8inch
12inch
タイプ
P
N
ノンドープ
面方位
100
110
111
厚み（μm）
200±20
250±20
280±20
280±25
300±20
380±20
380±25
400±20
450±20
500±20
525±20
645±20
700±20
800±20
1000±20
抵抗（Ω・cm）
0
0.01-0.02
0.1-0.5
0.1-2
0.1-50
0.5-1.5
0.5-50
1-10
1-20
1-50
1-200
10-20
10-30
20-30
30-50
50-60
90-150
≦0.0085
≦0.02
≦0.03
≧1
≧100
≧1000
1000≦
≧10000
オリフラ（㎜）
16.0±1
16.0±2
17.5±2.5
22.0±2
22.0±2.5
32.5±2
32.5±2.5
42.5±2.5
47.5±2.5
ノッチ
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