| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3inch | N | 111 | 600±20 | 1-10 | 22.0±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3inch | N | 111 | 300±20 | 1-10 | 22.0±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3inch | N | 111 | 380±20 | ≦0.03 | 22.0±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3inch | N | 100 | 380±20 | 1-10 | 22.0±2.5 | 片面MP |