| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|
| 5inch | N | 100 | 500±20 | ≧5000 | 42.5±2.5 | 両面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|
| 4inch | ノンドープ | 100 | 800±20 | ≧5000 | 32.5±2.5 | 両面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|
| 3inch | ノン | 100 | 450±20 | ≧1000 | 22.0±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|
| 3inch | ノン | 100 | 450±20 | ≧1000 | 22.0±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|
| 3inch | ノン | 100 | 625±20 | ≧1000 | 22.0±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|
| 3inch | ノン | 100 | 200±20 | ≧500 | 22.0±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|
| 3inch | ノン | 100 | 450±20 | ≧1000 | 22.0±2.5 | 両面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|
| 3inch | ノン | 100 | 600±20 | ≧1000 | 22.0±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|
| 3inch | ノン | 111 | 250±20 | ≧5000 | 22.0±2.5 | 片面MP |
| サイズ | タイプ | 面方位 | 厚み（μm） | 抵抗（Ω・cm） | オリフラ（㎜） | 面状態 |
|---|
| 3inch | ノン | 100 | 200±20 | ≧1000 | 22.0±2.5 | 片面MP |
